Interfacial structure control of cubic boron nitride films prepared by ion-beam assisted deposition
Y. Setsuhara; T. Suzuki; Y. Tanaka; S. Miyake; M. Suzuki; M. Kumagai; K. Ogata; M. Kohata; K. Higeta; T. Einishi; Y. Suzuki; Y. Shimoitani; Y. Motonami
- 作者Y. Setsuhara; T. Suzuki; Y. Tanaka; S. Miyake; M. Suzuki; M. Kumagai; K. Ogata; M. Kohata; K. Higeta; T. Einishi; Y. Suzuki; Y. Shimoitani; Y. Motonami
- 印刷ISSN0168-583X
- 文件大小589.84KB
- 发表时间1997
- DOI10.1016/s0168-583x(97)00020-7
- 页码851-856