Atmospheric pressure, radio frequency, parallel plate capacitively coupled plasma—excitation temperatures and analytical figures of merit

• 作者M.M. Rahman; M.W. Blades
• 卷第52卷
• 期第13期
• 印刷ISSN0584-8547
• 文件大小697.98KB
• 发表时间1997
• DOI10.1016/s0584-8547(97)00080-3
• 页码1983-1993