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Piezoelectric thin films for mems

Piezoelectric thin films for mems

Muralt, Paul

期刊名称Integrated Ferroelectrics
作者Muralt, Paul
卷第17卷
印刷ISSN1058-4587
电子ISSN1607-8489
文件大小518.10KB
发表时间1997-09
DOI10.1080/10584589708013004
页码297-307

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