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Depth dependent carrier density profile by scanning capacitance microscopy

Kang, C. J.; Kim, C. K.; Lera, J. D.; Kuk, Y.; Mang, K. M.; Lee, J. G.; Suh, K. S.; Williams, C. C.

期刊名称Applied Physics Letters
作者Kang, C. J.; Kim, C. K.; Lera, J. D.; Kuk, Y.; Mang, K. M.; Lee, J. G.; Suh, K. S.; Williams, C. C.
卷第71卷
期第11期
印刷ISSN0003-6951
文件大小403.77KB
发表时间1997
DOI10.1063/1.119961