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Some effects of phosphorus doping in SiC:H films prepared using ECR-CVD

Some effects of phosphorus doping in SiC:H films prepared using ECR-CVD

R. Ji; S.F. Yoon; J. Ahn; W.I. Milne

作者R. Ji; S.F. Yoon; J. Ahn; W.I. Milne
卷第48卷
期第3期
印刷ISSN0921-5107
文件大小524.44KB
发表时间1997
DOI10.1016/s0921-5107(97)00011-1
页码215-220

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