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Polynorbornene for Low K Interconnection

Grove, N. R.; Kohl, P. A.; Bidstrup-Allen, S. A.; Shick, R. A.; Goodall, B. L.; Jayaraman, S.

期刊名称MRS Proceedings
作者Grove, N. R.; Kohl, P. A.; Bidstrup-Allen, S. A.; Shick, R. A.; Goodall, B. L.; Jayaraman, S.
卷第476卷
电子ISSN1946-4274
文件大小381.95KB
发表时间1997-1
DOI10.1557/proc-476-3