ChemInform Abstract: Wet Chemical Digital Etching of GaAs at Room Temperature.
G. C. DESALVO; C. A. BOZADA; J. L. EBEL; D. C. LOOK; J. P. BARRETTE; C. L. A. CERNY; R. W. DETTMER; J. K. GILLESPIE; C. K. HAVASY; T. J. JENKINS; K. NAKANO; C. I. PETTIFORD; T. K. QUACH; J. S. SEWELL; G. D. VIA
- 作者G. C. DESALVO; C. A. BOZADA; J. L. EBEL; D. C. LOOK; J. P. BARRETTE; C. L. A. CERNY; R. W. DETTMER; J. K. GILLESPIE; C. K. HAVASY; T. J. JENKINS; K. NAKANO; C. I. PETTIFORD; T. K. QUACH; J. S. SEWELL; G. D. VIA
- 卷第28卷
- 期第12期
- 印刷ISSN0931-7597
- 电子ISSN1522-2667
- 文件大小29.07KB
- 发表时间1997
- DOI10.1002/chin.199712250