发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

X-ray mask distortions during e-beam patterning

X-ray mask distortions during e-beam patterning

B. Shamoun; M. Sprague; F. Bedford; R. Engelstad; F. Cerrina

作者B. Shamoun; M. Sprague; F. Bedford; R. Engelstad; F. Cerrina
印刷ISSN0167-9317
文件大小283.83KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0167-9317(98)00065-3
页码283-286

← 返回【学霸图书馆】主页