Dependence of the quality of thick resist structures on resist baking

G. Bleidiessel; G. Gruetzner; F. Reuther; S. Fehlberg; B. Loechel; A. Maciossek

作者G. Bleidiessel; G. Gruetzner; F. Reuther; S. Fehlberg; B. Loechel; A. Maciossek
印刷ISSN0167-9317
文件大小318.33KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0167-9317(98)00100-2
页码433-436

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