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Laser-induced chemical vapor deposition of nanostructured silicon carbonitride thin films

Laser-induced chemical vapor deposition of nanostructured silicon carbonitride thin films

Besling, W. F. A.; Goossens, A.; Meester, B.; Schoonman, J.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Besling, W. F. A.; Goossens, A.; Meester, B.; Schoonman, J.
卷第83卷
期第1期
文件大小1186.33KB
发表时间1998
DOI10.1063/1.366669

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