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CATHODIC ARC DEPOSITION OF FILMS

CATHODIC ARC DEPOSITION OF FILMS

Brown, Ian G.
  • 期刊名称Annual Review of Materials Science
  • 作者Brown, Ian G.
  • 卷第28卷
  • 期第1期
  • 印刷ISSN0084-6600
  • 电子ISSN0084-6600
  • 文件大小417.66KB
  • 发表时间1998-08
  • DOI10.1146/annurev.matsci.28.1.243
  • 页码243-269
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