Model and measurements for a planar inductive oxygen discharge

• 期刊名称Plasma Sources Science and Technology
• 作者Gudmundsson, J T; Lieberman, M A
• 卷第7卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0963-0252
• 电子ISSN1361-6595
• 文件大小283.62KB
• 发表时间1998-02-01
• DOI10.1088/0963-0252/7/1/002
• 页码1-12