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Powerful source of accelerated atoms for surface modification

Powerful source of accelerated atoms for surface modification

Churkin, I. N.; Volosov, V. I.; Steshov, A. G.

期刊名称Review of Scientific Instruments
作者Churkin, I. N.; Volosov, V. I.; Steshov, A. G.
卷第69卷
期第2期
印刷ISSN0034-6748
文件大小330.97KB
发表时间1998
DOI10.1063/1.1148581

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