Piezoresistive cantilever designed for torque magnetometry
Willemin, M.; Rossel, C.; Brugger, J.; Despont, M. H.; Rothuizen, H.; Vettiger, P.; Hofer, J.; Keller, H.
- 期刊名称Journal of Applied Physics
- 作者Willemin, M.; Rossel, C.; Brugger, J.; Despont, M. H.; Rothuizen, H.; Vettiger, P.; Hofer, J.; Keller, H.
- 卷第83卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0021-8979
- 文件大小1287.37KB
- 发表时间1998
- DOI10.1063/1.366811