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Oxidation of Si[sub 1−y]C[sub y] (0≤y≤0.02) strained layers grown on Si(001)

Oxidation of Si[sub 1−y]C[sub y] (0≤y≤0.02) strained layers grown on Si(001)

K. Pressel

作者K. Pressel
文件大小478.37KB
发表时间1998
DOI10.1116/1.590050

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