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Structural and electrical properties of cathodic sputtered thin chromium films

Structural and electrical properties of cathodic sputtered thin chromium films

A.K Butilenko; A.Ya Vovk; H.R Khan

作者A.K Butilenko; A.Ya Vovk; H.R Khan
卷第107卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小112.03KB
发表时间1998
DOI10.1016/s0257-8972(98)00583-0
页码197-199

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