Inductively coupled plasma damage in GaN Schottky diodes
X. A. Cao; A. P. Zhang; G. T. Dang; H. Cho; F. Ren; S. J. Pearton; R. J. Shul; L. Zhang; R. Hickman; J. M. Van Hove
- 作者X. A. Cao; A. P. Zhang; G. T. Dang; H. Cho; F. Ren; S. J. Pearton; R. J. Shul; L. Zhang; R. Hickman; J. M. Van Hove
- 文件大小596.49KB
- 发表时间1999
- DOI10.1116/1.590785