Finite element analysis of SCALPEL wafer heating
B. Kim; R. L. Engelstad; E. G. Lovell; S. T. Stanton; J. A. Liddle; G. M. Gallatin
- 作者B. Kim; R. L. Engelstad; E. G. Lovell; S. T. Stanton; J. A. Liddle; G. M. Gallatin
- 文件大小1001.44KB
- 发表时间1999
- DOI10.1116/1.591089