Plasma nitriding of thin molybdenum layers at low temperature

• 作者I. Jauberteau; J.L. Jauberteau; M.N. Séméria; A. Larré; J. Piaguet; J. Aubreton
• 印刷ISSN0257-8972
• 文件大小237.34KB
• 发表时间1999
• DOI10.1016/s0257-8972(99)00117-6
• 页码222-228