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Neural network modeling of PECVD silicon nitride films

Neural network modeling of PECVD silicon nitride films

S. Ghosh; P.K. Dutta; D.N. Bose

作者S. Ghosh; P.K. Dutta; D.N. Bose
卷第2卷
期第1期
印刷ISSN1369-8001
文件大小488.37KB
发表时间1999
DOI10.1016/s1369-8001(98)00023-7
页码1-11

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