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$Thin film vertical diffraction gratings fabricated using glancing angle deposition$

Thin film vertical diffraction gratings fabricated using glancing angle deposition

Elezzabi, A.Y.; Sit, J.C.; Holzman, J.F.; Robbie, K.; Brett, M.J.

期刊名称Electronics Letters
作者Elezzabi, A.Y.; Sit, J.C.; Holzman, J.F.; Robbie, K.; Brett, M.J.
卷第35卷
期第6期
印刷ISSN0013-5194
文件大小396.58KB
发表时间1999
DOI10.1049/el:19990340

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