Materials of LIGA technology
- 作者W. Ehrfeld; V. Hessel; H. Löwe; C. Schulz; L. Weber
- 卷第5卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小1527.90KB
- 发表时间1999-02
- DOI10.1007/s005420050150
- 页码105-112
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