Redistribution of implanted dopants in GaN

• 作者X. A. Cao; R. G. Wilson; J. C. Zolper; S. J. Pearton; J. Han; R. J. Shul; D. J. Rieger; R. K. Singh; M. Fu; V. Scarvepalli; J. A. Sekhar; J. M. Zavada
• 卷第28卷
• 期第3期
• 印刷ISSN0361-5235
• 电子ISSN1543-186X
• 文件大小176.20KB
• 发表时间1999
• DOI10.1007/s11664-999-0025-y
• 页码261-265