Three-dimensional simulation of film microstructure produced by glancing angle deposition
Smy, T.; Vick, D.; Brett, M. J.; Dew, S. K.; Wu, A. T.; Sit, J. C.; Harris, K. D.
- 作者Smy, T.; Vick, D.; Brett, M. J.; Dew, S. K.; Wu, A. T.; Sit, J. C.; Harris, K. D.
- 卷第18卷
- 期第5期
- 文件大小689.24KB
- 发表时间2000
- DOI10.1116/1.1286394