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Mass spectrometric characterization of BCl[sub 3]/SF[sub 6] plasmas

Mass spectrometric characterization of BCl[sub 3]/SF[sub 6] plasmas

Y. Lee; J. F. Sia; K. J. Nordheden

作者Y. Lee; J. F. Sia; K. J. Nordheden
文件大小287.06KB
发表时间2000
DOI10.1063/1.1309036

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