Profiling of ultrashallow junctions

M. J. Goeckner; S. B. Felch; Z. Fang; A. Oberhofer; V. K. F. Chia; G. R. Mount; M. Poulakos; W. A. Keenan

作者M. J. Goeckner; S. B. Felch; Z. Fang; A. Oberhofer; V. K. F. Chia; G. R. Mount; M. Poulakos; W. A. Keenan
文件大小450.75KB
发表时间2000
DOI10.1116/1.591214

发现好书期刊，享受阅读乐趣