Evaluation of exposure dose repeatability in synchrotron radiation lithography

K. Itoga; H. Sumitani; H. Watanabe; T. Kumada; I. Kodera; S. Satoh; N. Ogushi; S. Oishi; R. Edo; T. Yamamoto; Y. Watanabe

作者K. Itoga; H. Sumitani; H. Watanabe; T. Kumada; I. Kodera; S. Satoh; N. Ogushi; S. Oishi; R. Edo; T. Yamamoto; Y. Watanabe
文件大小526.62KB
发表时间2000
DOI10.1116/1.591275

发现好书期刊，享受阅读乐趣