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Pure Al thin film protective layer to prevent stress migration in Al wiring for thin-film transistors

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H. Takatsuji; K. Haruta; S. Tsuji; K. Kuroda; H. Saka

作者H. Takatsuji; K. Haruta; S. Tsuji; K. Kuroda; H. Saka
卷第125卷
印刷ISSN0257-8972
文件大小1070.98KB
发表时间2000
DOI10.1016/s0257-8972(99)00599-x
页码167-172

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