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Pd/AlN/Si or SiC Structure for Hydrogen Sensing Device

Pd/AlN/Si or SiC Structure for Hydrogen Sensing Device

Serina, Flaminia; Huang, C.; Auner, G. W.; Naik, R.; Ng, S.; Rimai, L.

期刊名称MRS Proceedings
作者Serina, Flaminia; Huang, C.; Auner, G. W.; Naik, R.; Ng, S.; Rimai, L.
卷第622卷
电子ISSN1946-4274
文件大小79.98KB
发表时间2000-1
DOI10.1557/proc-622-t1.3.1

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