Mechanical characterisation of ferroelectric thin films for MEMS

• 期刊名称Integrated Ferroelectrics
• 作者Algueró, M.; Bushby, A. J.; Reece, M. J.; Calzada, M. L.; Pardo, L.
• 卷第32卷
• 印刷ISSN1058-4587
• 电子ISSN1607-8489
• 文件大小439.29KB
• 发表时间2001-01
• DOI10.1080/10584580108215680
• 页码83-92