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Global model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation

Global model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation

Kimura, T.; Ohe, K.

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Kimura, T.; Ohe, K.
卷第89卷
期第8期
印刷ISSN0021-8979
文件大小340.02KB
发表时间2001
DOI10.1063/1.1354652

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