THE INVESTIGATION OF SURFACE TOPOGRAPHY DEVELOPMENT IN Si(001) AND Si(111) DURING SIMS DEPTH PROFILING
LAU, G. S.; TOK, E. S.; WEE, A. T. S.; LIU, R.; LIM, S. L.
- 期刊名称Surface Review and Letters
- 作者LAU, G. S.; TOK, E. S.; WEE, A. T. S.; LIU, R.; LIM, S. L.
- 卷第8卷
- 期第5期
- 印刷ISSN0218-625X
- 电子ISSN1793-6667
- 文件大小625.21KB
- 发表时间2001-10
- DOI10.1142/S0218625X01001233
- 页码453-457