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Unified analytic representation of physical sputtering yield

Unified analytic representation of physical sputtering yield

R.K. Janev; Yu.V. Ralchenko; T. Kenmotsu; K. Hosaka

作者R.K. Janev; Yu.V. Ralchenko; T. Kenmotsu; K. Hosaka
印刷ISSN0022-3115
文件大小85.87KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0022-3115(00)00612-7
页码104-106

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