First lithographic results from the extreme ultraviolet Engineering Test Stand
H. N. Chapman; A. K. Ray-chaudhuri; D. A. Tichenor; W. C. Replogle; R. H. Stulen; G. D. Kubiak; P. D. Rockett; L. E. Klebanoff; D. O’connell; A. H. Leung; K. L. Jefferson; J. B. Wronosky; J. S. Taylor; L. C. Hale; K. Blaedel; E. A. Spiller; G. E. Sommargren; J. A. Folta; D. W. Sweeney; E. M. Gullikson; P. Naulleau; K. A. Goldberg; J. Bokor; D. T. Attwood; U. Mickan; R. Hanzen; E. Panning; P. Yan; C. W. Gwyn; S. H. Lee
- 作者H. N. Chapman; A. K. Ray-chaudhuri; D. A. Tichenor; W. C. Replogle; R. H. Stulen; G. D. Kubiak; P. D. Rockett; L. E. Klebanoff; D. O’connell; A. H. Leung; K. L. Jefferson; J. B. Wronosky; J. S. Taylor; L. C. Hale; K. Blaedel; E. A. Spiller; G. E. Sommargren; J. A. Folta; D. W. Sweeney; E. M. Gullikson; P. Naulleau; K. A. Goldberg; J. Bokor; D. T. Attwood; U. Mickan; R. Hanzen; E. Panning; P. Yan; C. W. Gwyn; S. H. Lee
- 文件大小1520.74KB
- 发表时间2001
- DOI10.1116/1.1414017