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Silicon microphone based on surface and bulk micromachining

Silicon microphone based on surface and bulk micromachining

M. Brauer; A. Dehé; T. Bever; S. Barzen; S. Schmitt; M. Füldner; R. Aigner

作者M. Brauer; A. Dehé; T. Bever; S. Barzen; S. Schmitt; M. Füldner; R. Aigner
文件大小353.54KB
发表时间2001
DOI10.1088/0960-1317/11/4/305

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