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Preparation of boron-doped ZnO thin films by photo-atomic layer deposition

Preparation of boron-doped ZnO thin films by photo-atomic layer deposition

Y. Yamamoto; K. Saito; K. Takahashi; M. Konagai

作者Y. Yamamoto; K. Saito; K. Takahashi; M. Konagai
卷第65卷
印刷ISSN0927-0248
文件大小188.84KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0927-0248(00)00086-6
页码125-132

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