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Materials processing by gas cluster ion beams

Materials processing by gas cluster ion beams

Isao Yamada; Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda; Allen Kirkpatrick

作者Isao Yamada; Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda; Allen Kirkpatrick
卷第34卷
期第6期
印刷ISSN0927-796X
文件大小2828.13KB
发表时间2001
DOI10.1016/s0927-796x(01)00034-1
页码231-295

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