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Low-power r.f. plasma oxidation of aluminium

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A. N. Rider; R. N. Lamb; M. H. Koch

作者A. N. Rider; R. N. Lamb; M. H. Koch
卷第31卷
期第4期
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小270.94KB
发表时间2001
DOI10.1002/sia.978
页码302-312

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