Excimer-laser-induced micropatterning of silicon dioxide on silicon substrates
J.J. Yu; J.Y. Zhang; I.W. Boyd; Y.F. Lu
- 作者J.J. Yu; J.Y. Zhang; I.W. Boyd; Y.F. Lu
- 卷第72卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0947-8396
- 电子ISSN1432-0630
- 文件大小235.95KB
- 发表时间2001-01
- DOI10.1007/s003390000716
- 页码35-39