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Cold ion-cutting of hydrogen implanted Si

K. Henttinen; T. Suni; A. Nurmela; I. Suni; S.S. Lau; T. Höchbauer; M. Nastasi; V.-M. Airaksinen

作者K. Henttinen; T. Suni; A. Nurmela; I. Suni; S.S. Lau; T. Höchbauer; M. Nastasi; V.-M. Airaksinen
卷第190卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小307.70KB
发表时间2002
DOI10.1016/s0168-583x(01)01209-5
页码761-766