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Silicon Carbide Buffer Layers for Nitride Growth on Si

Masri, Pierre M.; Herro, Z.G.; Stauden, Thomas; Pezoldt, Jörg; Sumiya, M.; Averous, M.

期刊名称Materials Science Forum
作者Masri, Pierre M.; Herro, Z.G.; Stauden, Thomas; Pezoldt, Jörg; Sumiya, M.; Averous, M.
电子ISSN1662-9752
文件大小336.39KB
发表时间2002
DOI10.4028/www.scientific.net/MSF.389-393.1485
页码1485-1488