Dimensionelle Metrologie mittels Rastersondenmikroskopie (Dimensional Metrology based on Scanning Probe Microscopy)

Herrmann, K.; Koenders, Ludger; Danzebrink, H.-U.; Hasche, Klaus; Wilkening, Günter; Pohlenz, F.; Kuetgens, U.; Mirandé, W.; Yacoot, A.

期刊名称tm Technisches Messen
作者Herrmann, K.; Koenders, Ludger; Danzebrink, H.-U.; Hasche, Klaus; Wilkening, Günter; Pohlenz, F.; Kuetgens, U.; Mirandé, W.; Yacoot, A.
卷第69卷
印刷ISSN0171-8096
文件大小495.07KB
发表时间2002-01
DOI10.1524/teme.2002.69.12.519

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