发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Polymer thickness effects on Bosch etch profiles

C. J. D. Craigie; T. Sheehan; V. N. Johnson; S. L. Burkett; A. J. Moll; W. B. Knowlton

作者C. J. D. Craigie; T. Sheehan; V. N. Johnson; S. L. Burkett; A. J. Moll; W. B. Knowlton
文件大小746.33KB
发表时间2002
DOI10.1116/1.1515910