Automated thickness measurement of targets and degraders
Birgit Kindler; Holger Brand; Willi Hartmann; Jutta Steiner; Josef Klemm; Bettina Lommel
- 作者Birgit Kindler; Holger Brand; Willi Hartmann; Jutta Steiner; Josef Klemm; Bettina Lommel
- 卷第480卷
- 期第1期
- 印刷ISSN0168-9002
- 文件大小342.75KB
- 发表时间2002
- DOI10.1016/s0168-9002(01)02085-x
- 页码160-165