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Formation of stable zirconium oxide on silicon by photo-assisted sol–gel processing

Formation of stable zirconium oxide on silicon by photo-assisted sol–gel processing

J.J. Yu; J.-Y. Zhang; I.W. Boyd

作者J.J. Yu; J.-Y. Zhang; I.W. Boyd
卷第186卷
印刷ISSN0169-4332
文件大小115.80KB
发表时间2002
DOI10.1016/s0169-4332(01)00624-9
页码190-194

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