ZrO2 films deposited by photo-CVD at low temperatures
- 作者J.J. Yu; I.W. Boyd
- 卷第75卷
- 期第4期
- 印刷ISSN0947-8396
- 电子ISSN1432-0630
- 文件大小159.64KB
- 发表时间2002-10
- DOI10.1007/s003390201294
- 页码489-491
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