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Cluster ion beam process technology

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Isao Yamada; Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda

作者Isao Yamada; Jiro Matsuo; Noriaki Toyoda
卷第206卷
印刷ISSN0168-583X
文件大小509.53KB
发表时间2003
DOI10.1016/s0168-583x(03)00857-7
页码820-829

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