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Collision cascade containment in classical dynamics simulations of sputtering

Collision cascade containment in classical dynamics simulations of sputtering

M.A. Karolewski

作者M.A. Karolewski
卷第211卷
期第1期
印刷ISSN0168-583X
文件大小218.36KB
发表时间2003
DOI10.1016/s0168-583x(03)01178-9
页码43-49

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