Fundamental aspects in non-reactive and reactive magnetron discharges

• 期刊名称Plasma Sources Science and Technology
• 作者Bretagne, J; Laporte, C Boisse; Gousset, G; Leroy, O; Minea, T M; Pagnon, D; Poucques, L de; Touzeau, M
• 卷第12卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0963-0252
• 电子ISSN1361-6595
• 文件大小441.79KB
• 发表时间2003-11-01
• DOI10.1088/0963-0252/12/4/318