Fabrication of an integrated nanofluidic chip using interferometric lithography
M. J. O’brien; P. Bisong; L. K. Ista; E. M. Rabinovich; A. L. Garcia; S. S. Sibbett; G. P. Lopez; S. R. J. Brueck
- 作者M. J. O’brien; P. Bisong; L. K. Ista; E. M. Rabinovich; A. L. Garcia; S. S. Sibbett; G. P. Lopez; S. R. J. Brueck
- 卷第21卷
- 期第6期
- 文件大小594.07KB
- 发表时间2003
- DOI10.1116/1.1625964